这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。

产品特性:

◎可在一台仪器上实现纳米尺度、微米尺度及大载荷尺度下的压痕、划痕与摩擦测试

◎压痕、划痕与摩擦磨损完全符合ASTM及ISO的国际标准

◎模块化设计：可根据客户需求任意选择纳米/微米/大载荷模块的压痕/划痕/磨损功能

◎**的设计可保证系统具有高稳定性与高的精度

◎可拓展性强：可随意升级已有设备到多种测试功能

技术参数：

◎ 工作台自动控制范围：150 mm×150mm

◎ Z方向自动移动范围：50mm

◎ 工作台定位精度：1μm

◎ 光学显微物镜：5X，10X，20X，50X，100X可选

◎ 总放大倍数：200X， 400X， 800X，2000X200X， 4000X可选

◎ 纳米压痕仪/纳米划痕仪/纳米摩擦磨损仪

◎ 微米压痕仪/微米划痕仪/微米摩擦磨损仪

◎ 大载荷压痕仪/大载荷划痕仪/大载荷摩擦磨损仪

可选件：

◎ 测量模块：客户需要自己选择纳米模块、微米模块与大载荷模块其中之一

◎ 光学镜头：客户需要自己选择光学镜头的个数与倍率

◎ 原子力显微镜

产品应用：

◎薄膜及超薄膜(金属膜、陶瓷膜、Low k 膜、多层复合膜等)

◎复合材料(树脂基、陶瓷基、金属基、纤维增强材料表面及界面等)

◎聚合物 (共混物、共聚物等)

◎生物及仿生材料(细胞、骨组织、血管、牙齿、支架等)

◎金属及合金(晶面/晶界/组织相、金属玻璃、稀土等)

◎MEMS (微悬臂、微镜、微泵等)

◎陶瓷材料

◎电子及半导体(硅片、蓝宝、硬脆及软脆材料等)